หลักการทำงานของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

เครื่องเคลือบสูญญากาศเป็นอุปกรณ์ที่ฝากฟิล์มบางโลหะลงบนพื้นผิวของสารตั้งต้นหลักการทำงานขั้นพื้นฐานแบ่งออกเป็นสามขั้นตอน: การทำความสะอาด การระเหย และการสะสม
1. การทำความสะอาด
ก่อนที่จะเกิดการสะสมด้วยการระเหย จะต้องทำความสะอาดห้องระเหยก่อนเนื่องจากอาจมีออกไซด์ จาระบี ฝุ่น และสารอื่นๆ ติดอยู่ที่พื้นผิวของห้องระเหยซึ่งจะส่งผลต่อคุณภาพของฟิล์มการทำความสะอาดมักใช้วิธีการทางเคมีหรือกายภาพ
2. การระเหย
วัสดุที่ต้องการจะถูกให้ความร้อนเหนือจุดหลอมเหลวเพื่อให้เกิดเป็นโมเลกุลของก๊าซจากนั้นโมเลกุลของก๊าซจะถูกหลบหนีเข้าไปในห้องสุญญากาศเข้าไปในห้องระเหยกระบวนการนี้เรียกว่าการระเหยอุณหภูมิ ความดัน และอัตราการระเหยส่งผลต่อองค์ประกอบ โครงสร้าง และคุณสมบัติของฟิล์ม
3. การสะสม
โมเลกุลก๊าซของวัสดุในห้องระเหยจะเข้าสู่ห้องปฏิกิริยาผ่านท่อสุญญากาศ ทำปฏิกิริยากับวัสดุออกฤทธิ์ จากนั้นฝากผลิตภัณฑ์ลงบนพื้นผิวของสารตั้งต้นกระบวนการนี้เรียกว่าการตกตะกอนอุณหภูมิ ความดัน และอัตราการสะสมยังส่งผลต่อคุณภาพและประสิทธิภาพของฟิล์มด้วย
2. การสมัคร
เครื่องเคลือบสูญญากาศถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านวัสดุศาสตร์ เลนส์ อิเล็กทรอนิกส์ และสาขาอื่นๆ
1. วัสดุศาสตร์
เครื่องเคลือบสูญญากาศสามารถเตรียมฟิล์มบางของโลหะ โลหะผสม ออกไซด์ ซิลิเกต และวัสดุอื่นๆ หลายชนิด และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบ ฟิล์มกรองแสง การจัดเก็บแสง จอแสดงผล ทรานซิสเตอร์ และสาขาอื่นๆ
2. เลนส์
เครื่องเคลือบสูญญากาศสามารถเตรียมฟิล์มโลหะและโลหะผสมที่มีการสะท้อนแสงสูง และฟิล์มกรองแสงพร้อมฟังก์ชั่นพิเศษฟิล์มเหล่านี้สามารถใช้ในแผงโซลาร์เซลล์ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนประสิทธิภาพสูง แอโรเจล เซ็นเซอร์ UV/IR ฟิลเตอร์แสง และสาขาอื่นๆ
3. อิเล็กทรอนิกส์
เครื่องเคลือบสูญญากาศสามารถเตรียมวัสดุอิเล็กทรอนิกส์ระดับนาโนและอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ได้ฟิล์มเหล่านี้สามารถใช้ในนาโนทรานซิสเตอร์ หน่วยความจำแม่เหล็ก เซ็นเซอร์ และสาขาอื่นๆ
กล่าวโดยสรุป เครื่องเคลือบสูญญากาศไม่เพียงแต่สามารถเตรียมวัสดุฟิล์มบางต่างๆ ได้ แต่ยังเตรียมฟิล์มบางที่มีฟังก์ชันพิเศษได้ตามต้องการอีกด้วยในอนาคตเทคโนโลยีการเคลือบสูญญากาศจะถูกใช้และส่งเสริมอย่างแพร่หลายมากขึ้น